1、無塵潔凈室是指為消除一定空間內(nèi)空氣中的顆粒、細菌等污染物，將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度及分布、噪聲振動、照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi)而專門設(shè)計建造的無塵潔凈室。

　　

　　2、潔凈室原則。潔凈室是一種使用HEPA和空氣凈化設(shè)備，其塵埃的收集率在99.97~99.99995%，所以用這種過濾器過濾的空氣可以說是非常干凈的。但是潔凈室除了人，還有機器等塵源。一旦這些產(chǎn)生的灰塵擴散，就不可能保持一個干凈的空間。因此，有必要利用氣流將產(chǎn)生的灰塵快速排出室外。

　　

　　3、潔凈室的三個灰塵。潔凈室有三個原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵?？諝饬茉》孔鳛檫M入潔凈室的緩沖通道之一，是控制灰塵的最佳凈化設(shè)備之一，可以最大限度地減少員工進出潔凈室?guī)淼奈廴締栴}。淋浴房的兩個門是電子聯(lián)鎖的，也可以作為氣閘室，防止外界污染和未凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)，達到生產(chǎn)車間所需的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。

　　

　　4、潔凈室最重要的作用是控制潔凈度日和產(chǎn)品(如硅片等)所在大氣的溫濕度。讓產(chǎn)品在良好的環(huán)境空間里生產(chǎn)制造，我們稱之為潔凈室。根據(jù)國際慣例，無塵凈化水平主要是根據(jù)每立方米空氣中直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來定義的。也就是說，無塵不是100%無塵，而是控制在極少量的單位。當然，這個標準中符合塵埃標準的顆粒相對于我們常見的塵埃來說是非常小的，但是對于光學結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點塵埃都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以無塵是光學結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)中的必然要求。

　　

　　將粒徑小于0.5微米的粉塵數(shù)量控制在每立方米3500以下，達到國際無塵標準A級。目前芯片級生產(chǎn)加工應(yīng)用的無塵標準對粉塵的要求比A級高，這樣高的標準主要用于一些高等級的芯片生產(chǎn)。粉塵量嚴格控制在每立方米1000以內(nèi)，也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級。