目前,凈化工程廣泛應(yīng)用于電子元器件、半導(dǎo)體材料、生物醫(yī)學(xué)、生物技術(shù)等制造業(yè)。商品的成功率和精度已經(jīng)在凈化廠的制造中得到證明,不容易發(fā)生環(huán)境污染。潔凈生產(chǎn)場(chǎng)所的蒸汽空氣濕度規(guī)律性較高,而生產(chǎn)加工行業(yè)則不同。半導(dǎo)體器件潔凈生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的蒸汽空氣濕度的規(guī)律性為45%,尺寸公差誤差為1%,超過1%或更小。
那么,如果氣體的空氣濕度超過生產(chǎn)加工規(guī)定,會(huì)對(duì)凈化工程造成什么危害呢?起初,細(xì)菌不斷發(fā)生,這將降低凈化項(xiàng)目的潔凈室水平。眾所周知,在空氣相對(duì)濕度超過60%的地理環(huán)境中,病原菌和其他外來物種(曲霉菌、病毒感染、病原菌、蠕蟲)可以主動(dòng)繁殖。當(dāng)空氣相對(duì)濕度超過30%時(shí),一些腸道益生菌會(huì)上升。當(dāng)空氣濕度在40%-60%之間時(shí),至少可以降低病原菌和上呼吸道感染的危害。
其次,空氣的相對(duì)濕度會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)線設(shè)備生銹,縮短使用壽命。很多工業(yè)機(jī)器的底盤都是用塑料、不銹鋼板芯等非金屬材料制成,但很多還是用銅、不銹鋼板等高分子材料制成。在高低溫地形下,零件容易生銹,縮短了工業(yè)設(shè)備的使用時(shí)間。
重新操作空氣的相對(duì)濕度可以讓員工看到一個(gè)舒適的辦公環(huán)境,空氣的空氣濕度在40%~60%以內(nèi)。如果空氣相對(duì)濕度過高,會(huì)讓人憂郁,但如果空氣相對(duì)濕度低于30%,會(huì)讓人感覺干燥,皮膚開裂,呼吸器官不舒服,情緒遲鈍。
最后產(chǎn)品潮濕,產(chǎn)品質(zhì)量降低。半導(dǎo)體利用其單側(cè)導(dǎo)電性,潮濕時(shí)成為導(dǎo)體,容易出現(xiàn)短路故障的常見故障情況,損害產(chǎn)品特性。此外,空氣相對(duì)濕度的上升繼續(xù)再次破壞半導(dǎo)體輔料的其他特性。以半導(dǎo)體光刻工藝為例,實(shí)驗(yàn)證實(shí)光刻工藝的粘度隨著空氣相對(duì)濕度的升高而迅速降低。
所以凈化工程一定要盡可能做好水分的控制。為了正確保證半導(dǎo)體的生產(chǎn)加工規(guī)程,必須盡可能使用專業(yè)的除濕機(jī)械設(shè)備進(jìn)行除濕。除濕機(jī)是去除濕氣和寒冷的專業(yè)機(jī)械設(shè)備。它是半導(dǎo)體潔凈工廠濕度控制的良好選擇,因?yàn)樗捎美鋬龀凉駥I(yè)技術(shù),除濕速度更快,操作過程簡(jiǎn)單方便。
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