凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。影響凈化工程效果有以下六個因素。
1、改變風(fēng)向
凈化工程的配氣機械設(shè)備(一般為裝修吊頂過濾裝置)設(shè)計為“自噴式”,用于展示均勻、潔凈、過濾后的氣體。房子上加的灰塵讓人聯(lián)想到防栓,是普通淋浴噴頭的反面。該標(biāo)準(zhǔn)展示了潔凈室主要參數(shù)、分類和檢驗方法的基本原則,但仍未展示如何合理滿足經(jīng)濟發(fā)展的要求。這是因為每個流程和潔凈室規(guī)定都不一樣。因此,可以選擇不同的循環(huán)粉塵含量,以達(dá)到預(yù)期的自然環(huán)境規(guī)定。
生產(chǎn)車間空氣污染物的比例和特定顆粒物造成的情況是危害潔凈室空氣交換的關(guān)鍵因素。在加工過程中,在不對其他元素造成任何傷害的情況下,顆粒的去除率是非常關(guān)鍵的。其他會危及循環(huán)氣總量的因素包括:房屋的結(jié)構(gòu)、機械設(shè)備的位置、機械設(shè)備的外部溫度、空氣對流、氣旋類型(單方面根據(jù)項目區(qū)域或整個空間)、實際室內(nèi)空間和規(guī)章制度、使用的原材料和化學(xué)品等。
二、單邊、流場、垂直或水平旋風(fēng)分離器
在許多情況下,單邊旋風(fēng)只用于凈化車間的小室內(nèi)空間和敏感區(qū)域,也用于微自然環(huán)境。空氣污染物的來源將存在于手套箱、過濾器控制模塊和其他區(qū)域。設(shè)計方案大多是整個單側(cè)旋風(fēng)潔凈室的室外規(guī)劃方案。只有在這樣的區(qū)域沒有操作人員,沒有生產(chǎn)線設(shè)備,沒有排氣系統(tǒng)設(shè)備的情況下,才能完成單邊氣旋。立式或臥式旋風(fēng)分離器的選擇取決于房屋的結(jié)構(gòu)和機械設(shè)備的放置,流場可以帶走空氣污染物。
三、空氣凈化系統(tǒng)軟件
根據(jù)潔凈室的主要用途,也可以選擇其他機器設(shè)備。例如,在循環(huán)系統(tǒng)空氣加新風(fēng)系統(tǒng)的解決方案系統(tǒng)軟件中,采用HEPA過濾裝置來解決VOC和碳的吸附或類似的發(fā)電過濾裝置、靜電感應(yīng)過濾箱等。
四、新風(fēng)系統(tǒng)CPU
新風(fēng)系統(tǒng)解決了空調(diào)機組的問題。典型的家用新風(fēng)系統(tǒng)解決了制冷機組(中、低檔制冷機組)為呼吸系統(tǒng)制冷機組(二次制冷機組)提供必要的家用新風(fēng)系統(tǒng)的問題。新風(fēng)系統(tǒng)由排煙風(fēng)機、軸流或塞式離心風(fēng)機及過濾裝置、用于加熱和再加熱的沸水風(fēng)機盤管、用于制冷和除濕的冷凍水風(fēng)機盤管、蒸汽和保溫空氣加濕器等組成。配件及區(qū)別包括靜電感應(yīng)氣體開關(guān)閥、蒸汽加熱風(fēng)機盤管、超聲波空氣加濕器、鹽水、即時交換[Dx]或乙二醇超低溫制冷除濕風(fēng)機盤管、VOC吸附過濾裝置、噪音衰減器、VFP(直流變頻)驅(qū)動器等。
五、氣體壓差
凈化工程的作用是保證潔凈室除鄰近區(qū)域外的環(huán)境污染,操縱有害空氣污染物的流入,避免不同區(qū)域之間的交叉型環(huán)境污染,有助于維持規(guī)定的溫度和環(huán)境濕度水平。
許多使用微電子技術(shù)和光刻技術(shù)的潔凈室都是通過被動標(biāo)準(zhǔn)氣壓成功運行的。只有當(dāng)所有的門都打開時,入口處的排氣量才保持在每分鐘50到100英尺。有的生物制藥公司規(guī)定主動差壓操作,選擇新風(fēng)系統(tǒng)的加注方式,根據(jù)門(開門時)全自動補充漏氣。
六、溫度控制
溫度和環(huán)境濕度的變化會導(dǎo)致生產(chǎn)線設(shè)備的偏差,危及加工精度,最終導(dǎo)致產(chǎn)量下降,消耗增加。所以凈化工程要嚴(yán)格控制溫度不言而喻,這個成本是必須的。
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